Nanoindentationsstudie über Niti-Dünnfilm-Formgedächtnisl...
Eine einzelne zweischichtige Probe, bestehend aus einer Monoschicht aus Ni und einer Monoschicht aus Ti mit der Ni-Schicht als Basisschicht, wurde auf einem Siliziumsubstrat abgeschieden. Während der Abscheidung wurde das Substrat mit einer vordefinierten Geschwindigkeit gedreht. Die so abgeschiedenen Schichten wurden dann bei Temperaturen von 300 ¿ C, 400 ¿ C, 500 ¿ C und 600 ¿ C über einen ...